项目信息
项目名称
北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统
申购业务号
202311160018
采购单位名称
yl23455永利
成交信息
成 交 价
488995.5元
成交供应商
液化空气上海有限公司
采 购 清 单
序号
名 称
规格型号
数 量
1
LPCVD工艺气体分配和控制系统
/
1台
2
RPS设备工艺气体分配控制系统
3
RTP设备工艺气体分配和控制系统
4
真空互联设备设备工艺气体分配和控制系统
5
SPTS设备工艺气体分配和控制系统
公示期从2023年11月16日起至2023年11月19日止。各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的,可在公示期内以书面形式(包括联系人、地址、联系电话)将意见反馈至yl6809永利官网yl23455永利;监督人:张老师,联系方式: 010-82313693,邮箱:gaogj@buaa.edu.cn。
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